一、 气体流量控制器产品概述
采用关键矽微机械加工技术的 MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的 MEMS（ Microelectromechanicalsystems）气体质量流量计和流量控制器，主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。该产品能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应时间较快，测量精度高，无需要温度压力补偿。
二、 气体流量控制器技术参数
2.1 测量介质：空气，氮气，二氧化碳，氩气，氧气，氢气，氦气
2.2 流量范围： DN2：20-10000mL/min
DN3：1000-30000mL/min
注：(a)以上流量的测量介质为空气而言；
(b)以上流量的标准状态 20℃，101.325kPa。
(c)每个口径量程范围均可扩大
(d)特殊需要可联系厂家单独标定
2.3 最大允许误差：±1.5%FS
2.4 精度保证温度：15-35℃；
2.5 工作压力范围：
MFM:工作压力≦1MPa 耐压：3MPa
MFC：工作压差：
≦1L/min：0.05-0.3MPa
1-30L/min：0.1-0.3MPa
耐压：3MPa
2.6 供电电源：24VDC
2.7 输入信号：0-5VDC, RS485通讯
2.8 输出信号：4-20mA，RS485通讯；
2.9 环境温度：5-45℃；
显示位数：瞬时流量为 6位，累积流量 8位。
